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臺式壁式兩用;，擋調速，吸集塵運轉噪聲低;，出風(fēng)口左右分開(kāi)，路出風(fēng)，便于形成良好的循環(huán)氣流，如與空調器并用效果更佳，風(fēng)淋室是員工進(jìn)入潔凈室或無(wú)塵車(chē)間必備的凈化設備之它可以大限度地減少員工進(jìn)出潔凈室所帶來(lái)的污染問(wèn)題。

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圖根據氣流方向進(jìn)行分類(lèi)的潔凈工作臺，根據空氣過(guò)濾器級別分類(lèi)，m（相當于操作人員在操作時(shí)耳部位置）處測量，然后關(guān)閉潔凈工作臺風(fēng)機，在相同位置測量背景噪聲，并根據測得的背景噪聲對測試結果進(jìn)行相應的修正；。

此外，潔凈工作臺還可配備紫外線(xiàn)滅菌燈、除靜電設備、不銹鋼孔板臺面、壓力表、風(fēng)速液晶顯示面板等，空氣過(guò)濾器，作為塵埃粒子進(jìn)入潔凈工作區的后道防線(xiàn)，其自身性能及安裝質(zhì)量的優(yōu)劣直接關(guān)系到潔凈工作臺能否滿(mǎn)足要求。

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凈化單元包括風(fēng)機、過(guò)濾器及均流層等；，具體測試方法：在潔凈工作臺操作口邊緣外側所毗連的周?chē)h(huán)境中，利用大氣塵或多分散氣溶膠作為污染源，用激光粒子計數器或光度計在操作口邊緣內側巡檢，巡檢速度在mm/s以下。

Chase），將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調箱之補充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤(pán)管（DryCoolingCoil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規格，通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇（FanFilterUnit或FFU）帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)（Ultra-lowpenetrationair或ULPAFilter）過(guò)濾后，供應至Fab區。